[发明专利]一种ICF靶装配参数测量多自由度精密运动平台装置

摘要

本发明公开了一种ICF靶装配参数测量多自由度精密运动平台装置，所述装置包括ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以及承载上述三个系统的隔振平台四部分，其中：所述ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以品字形布局安装在隔振平台上面。本发明通过与高精度气浮导轨、气浮轴系相结合，结构优化集成，实现ICF靶空间姿态高精度调整，设计的具有输出靶坐标参数能力的运动平台，配合其他项目完成整体上的靶空间姿态的精密调整与控制，能够实现对微球、微圆柱、ICF靶装配参数的尺寸和形状精度等几何量的测量。

主权项

1.一种ICF靶装配参数测量多自由度精密运动平台装置，其特征在于所述装置包括ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以及承载上述三个系统的隔振平台四部分，其中：所述ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以品字形布局安装在隔振平台上面；所述ICF靶参数测量三维平动系统由X方向空气静压直线气浮导轨、Z方向空气静压直线气浮导轨承、音圈电机、高精度微接触力位移测量装置构成，其中：所述Z方向空气静压直线气浮导轨承的下端面固定在X方向空气静压直线气浮导轨的滑块上面；所述音圈电机与高精度微接触力位移测量装置固定在Z方向空气静压直线气浮导轨承的滑块上边；所述ICF靶参数三维监控系统由CCD显微镜、装夹支架、Z方向调整支架、水平二维微调装置组成，其中：所述CCD显微镜通过装夹支架连接在Z方向调整支架上且可沿Z方向上下移动；所述Z方向调整支架固定在水平二维微调装置上面；所述ICF靶姿态双回转精密调整系统由主回转轴系和副回转轴系构成，其中：所述主回转轴系由自动二维微调装置、可动安装座、固定安装座、主回转轴系气浮轴承、主回转轴系分体式低速力矩电机组成，所述主回转轴系气浮轴承内包含气浮主轴，所述主回转轴系分体式低速力矩电机的定子及外壳与主回转轴系气浮轴承固定连接，所述主回转轴系分体式低速力矩电机的转子与主回转轴系气浮轴承内包含的气浮主轴的下端固定连接，所述固定安装座与主回转轴系气浮轴承固定连接，所述可动安装座下端面与主回转轴系气浮轴承内包含的气浮主轴上端相固定连接，所述可动安装座上端面与自动二维微调装置下面固定连接；所述副回转轴系由气浮副轴、副回转轴系气浮轴承、副回转轴系分体式低速力矩电机、手动二维微调装置、靶球座组成，所述副回转轴系气浮轴承固定于自动二维微调装置的上面，所述副回转轴系分体式低速力矩电机的外壳和定子固定在副回转轴系气浮轴承的后端，所述气浮副轴安装于副回转轴系气浮轴承内，且其后端与副回转轴系分体式低速力矩电机的转子固定连接，前端与手动二维微调装置下端面固定连接，所述靶球座与手动二维微调装置上端面固定连接。