[发明专利]一种共面波导结构微米LED的制备方法

摘要

本发明提出了一种共面波导结构微米LED的制备方法，属于光电子器件面向可见光通信LED领域。本发明首先通过仿真模拟优化芯片排布及电极结构，然后在芯片工艺过程中，通过图形化掩埋及控制电子束蒸发条件，最终在芯片内实现共面波导结构，使得高频信号可馈入阵列内每个LED终端。本发明不但兼容传统LED制作工艺，而且简单可靠，使得高频信号有效馈入，提高了大功率芯片的带宽；同时将芯片与导热基底进行焊接，可大大提升高功率芯片的散热性能，有效提高大功率芯片的可靠性。

主权项

1.一种共面波导微米LED的制备方法，其特征在于，具体包括：1)根据功率要求确定阵列中微米LED的尺寸和个数，再通过仿真模拟热分布、电流分布、及高频信号馈入情况，设计出若干个微米LED的排布和电极结构；2)在外延片上，通过干法刻蚀过程制备出上述LED区域及条状深刻蚀区域；然后沉积N型电极材料，形成大面积环绕N电极；3)淀积P型金属，形成被绝缘层隔离开的P电极区域与N电极区域,随后光刻、剥离形成N金属焊盘与P金属焊盘，至此形成共面波导结构；4)在散热基板上沉积与LED区域对应的图形化金属，对准并焊接，实现共面波导微米LED的制备。