[发明专利]垂直梳齿静电驱动微镜结构、制造方法及驱动微镜在审
| 申请号： | 201810354073.9 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110389444A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 沈文江;范延军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直梳齿静电驱动微镜结构，包括：第一基片，所述第一基片包括至少两个梳齿结构，所述梳齿结构包括动梳齿和静梳齿，所述动梳齿和所述静梳齿之间具有高度差。本发明也公开了一种上述垂直梳齿静电驱动微镜结构的制造方法。本发明还公开了一种包括上述垂直梳齿静电驱动微镜结构的驱动微镜。本发明的垂直梳齿静电驱动微镜结构简化了工艺，实现了动静梳齿的自对准，并且通过组装实现动梳齿与静梳齿间的高度可控。 | ||
| 搜索关键词： | 梳齿 微镜 静电驱动 垂直 梳齿结构 驱动 结构简化 高度差 自对准 可控 制造 组装 | ||
【主权项】：
1.一种垂直梳齿静电驱动微镜结构，其特征在于，包括第一基片，所述第一基片包括至少两个梳齿结构，所述梳齿结构包括动梳齿和静梳齿，所述动梳齿和所述静梳齿之间具有高度差。
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