[发明专利]一种压力传感器及其形成方法有效
| 申请号： | 201810354360.X | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN108640078B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 陈达;罗海龙;叶菲;宋炳含 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张清芳 |
| 地址： | 315803 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种压力传感器及其形成方法。该压力传感器包括：支撑衬底，设置于所述支撑衬底上的微悬臂梁；所述微悬臂梁包括压电膜组，所述压电膜组包括至少两层层叠设置的压电膜，相邻两层压电膜的材料不同。根据本发明的压力传感器中的微悬臂梁包括至少两层层叠设置的压电膜，当微悬臂梁的梁体受力时，各个压电膜都出现电势差，因此提高了对外电势差值，从而提高了压力传感器的灵敏度。进一步地，通过设置至少两个微悬臂梁，扩大了探测流体的范围，并且使得流体作用到微悬臂梁从而能够被压力传感器探测的概率增大，从而提高了压力传感器的灵敏度和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：支撑衬底，设置于所述支撑衬底上的微悬臂梁；所述微悬臂梁包括压电膜组，所述压电膜组包括至少两层层叠设置的压电膜，相邻两层压电膜的材料不同。
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