[发明专利]一种基于关键工序的砷化镓质量一致性控制方法及系统在审
| 申请号： | 201810356299.2 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN108594776A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李刚;闫锐;陈为胜;崔玉兴;刘相伍;杨中月 | 申请（专利权）人： | 中江联合（北京）科技有限公司;中国电子科技集团公司第十三研究所;西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人： | 唐维铁 |
| 地址： | 100048 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于关键工序的砷化镓质量一致性控制方法，采用步骤如下，步骤一：通过工艺过程参数和工艺结果数据的相关性，量化出关键工序的工艺过程参数权重；步骤二：对关键工序的过程参数利用人工神经网络建成工艺质量一致性模型；步骤三：通过产品已完成关键工序的工艺结果数据作为输入，利用工艺质量一致性模型预测本道工序的工艺过程参数和工艺结果数据。本发明可以对多个参数进行综合分析，数据处理能力强大，结果更加精准；可以在生产前提前预测生产的结果并进行反馈，保证生产的质量，降低了生产风险；可以依据预期的生产结果预测合适的工艺参数，具有前瞻性，简化了生产技术。 | ||
| 搜索关键词： | 关键工序 工艺过程参数 工艺结果 一致性控制 一致性模型 砷化镓 生产 人工神经网络 数据处理能力 过程参数 结果预测 生产技术 预期的 预测 综合分析 权重 量化 反馈 保证 | ||
【主权项】：
1.一种基于关键工序的砷化镓质量一致性控制方法，其特征在于，采用步骤如下，步骤一：通过工艺过程参数和工艺结果数据的相关性，量化出关键工序的工艺过程参数权重；步骤二：对关键工序的过程参数利用人工神经网络建成工艺质量一致性模型；步骤三：通过产品已完成关键工序的工艺结果数据作为输入，利用工艺质量一致性模型预测本道工序的工艺过程参数和工艺结果数据。
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