[发明专利]一种三维调谐的光束扫描装置与设计方法

摘要

本发明涉及一种光束扫描装置与方法，具体涉及一种三维调谐的光束扫描装置与设计方法。本发明针对激光扫描光源，采用汇聚透镜、压控可变焦透镜和一种十字交叉的二维声光调制器，实现三维调谐的空间扫描。激光光束通过汇聚透镜聚焦，聚焦后的光束通过独立调节二维声光调制器的驱动频率，调节出射光束的偏转角，光斑在扫描面上依次逐点移动，实现光信号的横向扫描。根据扫描面与装置的距离的不同，通过调节可变焦透镜的焦距，改变出射激光光束的发散角和工作距离，改变它的纵向准直特性，实现对不同距离的物体表面的精准扫描，提高空间分辨率，从而实现三维调谐的动态扫描方法。

主权项

1.一种三维调谐的光束扫描装置与设计方法，其特征在于：所述装置包括扫描用激光光源、主控单元、驱动控制电路、汇聚透镜、压控可变焦透镜和十字交叉结构的二维声光调制器；通过声光调制器实现在扫描面上水平与竖直方向的横向扫描；通过调节可变焦透镜的焦距，实现纵向调谐即光束发散角和扫描面光斑尺寸大小的调节，从而实现三维调谐的扫描方式。