[发明专利]一种弱耦合谐振式传感器的线性化输出检测方法有效
| 申请号： | 201810356917.3 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108761134B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 常洪龙;张和民;钟纪明;杨晶 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00 |
| 代理公司： | 61204 西北工业大学专利中心 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于模态局部化的弱耦合谐振式传感器的线性化输出检测方法，属于微机电系统(MEMS)领域。该方法具体操作时包括如下步骤：步骤一：判断双谐振器为同相驱动或反相驱动状态，如为同相驱动，则选取一阶模态作为工作模态，如为反相驱动，则选取二阶模态作为工作模态；步骤二：检测两谐振器的振幅差(|X | ||
| 搜索关键词： | 谐振式传感器 弱耦合 线性化 振幅差 反相驱动 工作模态 输出检测 同相驱动 局部化 双谐振 谐振器 模态 输出线性化 微机电系统 二阶模态 驱动条件 一阶模态 输出 分离点 检测量 振幅比 传感器 检测 | ||
【主权项】：
1.一种双谐振器驱动条件下弱耦合谐振式传感器振幅差线性化输出的检测方法，其特征在于：包括如下步骤：/n步骤一：判断双谐振器为同相驱动或反相驱动状态，如为同相驱动，则选取一阶模态作为工作模态，如为反相驱动，则选取二阶模态作为工作模态；/n步骤二：检测两谐振器的振幅差(|X
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