[发明专利]籽晶保护装置及单晶生长方法有效
| 申请号： | 201810358210.6 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN108546986B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 白永彪;赵有文;沈桂英;董志远;刘京明;谢晖;余丁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所;中国科学院大学 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B11/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种籽晶保护装置及单晶生长方法。该籽晶保护装置，包括：石英舟，包含：石英舟本体，用于存放晶体原料；以及籽晶引入通道，包含：通道弧形部分，用于存放籽晶和/或作为籽晶的滑入通道，该通道弧形部分高于熔融后的晶体原料所在的水平线；以及凹槽，与通道弧形部分相连、位于籽晶引入通道的出口处；其中，在通道弧形部分放置籽晶的位置前方设置有一阻挡物，防止籽晶自行滑落；或者该籽晶引入通道还包括一水平段，该水平段与通道弧形部分的顶部相连，在该水平段中放置籽晶，使籽晶无法自发滑落；当触发籽晶的滑落条件时，籽晶能够沿着通道弧形部分滑动至凹槽中。该装置保证了籽晶使用前的有效隔离，提高了单晶形成率。 | ||
| 搜索关键词： | 籽晶 保护装置 生长 方法 | ||
【主权项】：
1.一种籽晶保护装置，包括：石英舟，包含：石英舟本体，具有凹腔结构，用于存放晶体原料；以及籽晶引入通道，与凹腔结构的一端相连通，包含：通道弧形部分，用于存放籽晶和/或作为籽晶的滑入通道，该通道弧形部分高于熔融后的晶体原料所在的水平线；以及凹槽，与通道弧形部分相连、位于籽晶引入通道的出口处，用于容纳从通道弧形部分滑入的籽晶；其中，在通道弧形部分放置籽晶的位置前方设置有一阻挡物，防止籽晶自行滑落；或者该籽晶引入通道还包括一水平段，该水平段与通道弧形部分的顶部相连，在该水平段中放置籽晶，使籽晶无法自发滑落；当触发籽晶的滑落条件时，籽晶能够沿着通道弧形部分滑动至凹槽中。
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