[发明专利]一种MEMS陀螺仪标度因数的加速度敏感性补偿方法有效
| 申请号： | 201810359061.5 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108917787B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 关伟;汤莉;石垒;张春京;李丹东 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 范晓毅 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS陀螺仪标度因数的加速度敏感性补偿方法，该方法包括如下步骤：根据MEMS陀螺仪在边缘台锁定和边缘台解除锁定两种情况下的MEMS陀螺仪输出，构建MEMS陀螺仪标度因数g敏感性向量和MEMS陀螺仪感知的加速度向量；使用高阶多项式表达MEMS陀螺仪标度因数g敏感性和MEMS陀螺仪感知的加速度之间的数学关系；通过矩阵运算的方法计算出高阶多项式的系数；利用拟合后的多项式进行MEMS陀螺仪标度因数g敏感性补偿。本发明提高了MEMS陀螺g敏感性补偿的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 标度 因数 加速度 敏感性 补偿 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS陀螺仪标度因数的加速度敏感性补偿方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤一：设置双轴离心机，使其边缘台转轴(8)垂直于主离心机转轴(1)，锁定边缘台(20)；步骤二：将MEMS陀螺仪(5)固定安装在边缘台(20)上，MEMS陀螺仪敏感轴(4)与边缘台转轴(8)重合，并使MEMS陀螺仪敏感轴(4)指向或背向主离心机(10)的中心，使得主离心机(10)依次输出向心加速度序列：a0、a1、…、am，记录不同加速度下MEMS陀螺仪的输出，其中，a0＝0m/s2；步骤三：解除边缘台(20)锁定，以转速Ω运动，让主离心机输出与步骤二相同的向心加速度序列：a0、a1、…、am，记录不同向心加速度下MEMS陀螺仪的输出；步骤四：根据MEMS陀螺仪(5)在边缘台锁定和边缘台解除锁定两种情况下的MEMS陀螺仪输出，构建MEMS陀螺仪标度因数g敏感性向量和MEMS陀螺仪感知的加速度向量；步骤五：使用高阶多项式表达MEMS陀螺仪标度因数g敏感性和MEMS陀螺仪感知的加速度之间的数学关系；步骤六：通过矩阵运算的方法计算出高阶多项式的系数；步骤七：利用拟合后的多项式进行MEMS陀螺仪标度因数g敏感性补偿。
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