[发明专利]基板加热装置

摘要

本发明涉及基板加热装置，提供一种在将晶圆载置于加热板来进行加热的加热装置中抑制加热板的热对设置于加热装置的驱动系统的影响的技术。构成为由晶圆搬送机构将被加热板加热处理过的晶圆搬送到冷却板，在从加热板的下方侧起到冷却板的下方侧为止连续配置的水冷板的下方侧设置有构成晶圆搬送机构的例如包括带驱动机构的移动机构。因此，即使加热板的温度为600℃的高温，由于加热板的辐射热被水冷板遮蔽，因此对于移动机构的耐热性变大。

主权项

1.一种基板加热装置，其特征在于，具备：加热板，其载置基板并且对基板进行加热；冷却板，其与所述加热板沿前后方向相邻地设置，冷却板用于载置从外部搬入来的加热处理前的基板并且对被所述加热板加热处理后的基板进行冷却；基板搬送机构，其用于在所述冷却板与所述加热板之间搬送基板；隔热板，其从所述加热板的下方侧起到所述冷却板的下方侧为止连续设置；冷却机构，其用于冷却所述隔热板，以及低氧气氛形成部，其用于将对基板进行加热处理的气氛设为低氧气氛，其中，所述基板搬送机构具备用于保持基板的基板保持部、以及设置于比所述隔热板靠下方侧的位置且使所述基板保持部沿前后方向移动的移动机构。