[发明专利]蚀刻非挥发性金属材料的方法在审
| 申请号： | 201810360987.6 | 申请日： | 2015-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN108682737A | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 沈美华;哈梅特·辛格;萨曼塔·S·H·坦;杰弗里·马克斯;索斯滕·利尔;理查德·P·雅内克;杨文斌;普利素·沙马 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;陈丽 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及蚀刻非挥发性金属材料的方法，具体提供了一种在一个或者多个循环内蚀刻具有至少一个金属层的堆叠的方法。实施初始步骤，将至少一个金属层的一部分转化成金属氧化物、金属卤化物或者晶格损坏的金属部位。实施反应步骤，提供一个或者多个循环，其中每个循环包括提供有机溶剂蒸气以形成溶剂化的金属、金属卤化物或者金属氧化物的状态，以及提供有机配体溶剂以形成挥发性的有机金属化合物。实施挥发性的有机金属化合物的解吸。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 有机金属化合物 金属卤化物 金属氧化物 金属材料 挥发性 非挥发性 金属层 有机溶剂蒸气 金属部位 晶格损坏 有机配体 溶剂化 溶剂 堆叠 解吸 金属 转化 | ||
【主权项】：
1.一种在一个或者多个循环内蚀刻具有至少一个金属层的堆叠的方法，其中，每个循环包括：实施初始步骤，将所述至少一个金属层的一部分转化成金属氧化物、金属卤化物或者晶格损坏的金属部位；以及实施提供一个或者多个循环的反应步骤，其中每个循环包括：提供有机溶剂蒸气以形成溶剂化的金属、金属卤化物或者金属氧化物的状态；以及提供有机配体溶剂以形成挥发性的有机金属化合物。
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