[发明专利]基于X射线阵列组合折射透镜的微束X射线荧光分析方法

摘要

一种基于X射线阵列组合折射透镜的微束X射线荧光分析方法，包括如下步骤：1)因X射线辐射不可见，先利用可见光激光器进行系统光轴校准，校准完成后将发出不可见的X射线辐射的X射线光管移入系统光轴；2)利用X射线阵列组合折射透镜集成组件形成荧光探测微束；3)多个不同的X射线子光束被对应的X射线阵列组合折射透镜聚焦，多个焦斑的叠加最终形成X射线探测微束，并照射到样品台上的被检样品；4)X射线探测器贴近样品台上的被测样品放置，收集X射线探测微束照射被测样品所产生的二次荧光，并送入信息采集分析模块进行荧光分析。本发明提供一种同时具备高微区分辨率和高灵敏度，并可进行现场分析的小型化微束X射线荧光分析方法。

主权项

1.一种基于X射线阵列组合折射透镜的微束X射线荧光分析方法，其特征在于，实现所述方法的系统包括X射线光管、可见光激光器、X射线阵列组合折射透镜集成组件、样品台、X射线探测器及其信息采集分析模块，所述X射线光管或可见光激光器均和X射线阵列组合折射透镜集成组件、样品台的被测样品位于同一光轴上，所述X射线探测器贴近被测样品放置，所述X射线探测器与信息采集分析模块相连；所述微束X射线荧光分析方法包括如下步骤：1)因X射线辐射不可见，先利用可见光激光器进行系统光轴校准，校准完成后，将发出不可见的X射线辐射的X射线光管移入系统光轴；2)利用X射线阵列组合折射透镜集成组件形成荧光探测微束，所述X射线阵列组合折射透镜集成组件包括用于进行X射线光束第一次整形和滤波的X射线光阑、用于进行X射线光束第二次整形为类平行光的X射线折光器和用于对入射的多个X射线子光束分别进行聚焦的X射线阵列组合透镜，所述X射线光阑、X射线折光器和X射线阵列组合折射透镜依次位于微束X射线荧光分析系统的光轴上，所述X射线阵列组合折射透镜的阵列结构布局，保证每一个子光束所形成的聚焦焦斑在同一位置并位于光轴上；3)所述多个不同的X射线子光束被对应的X射线阵列组合折射透镜聚焦，多个焦斑的叠加最终形成X射线探测微束，并照射到样品台上的被检样品；4)所述X射线探测器贴近样品台上的被测样品放置，收集X射线探测微束照射被测样品所产生的二次荧光，并送入信息采集分析模块进行荧光分析。