[发明专利]成像光学系统、测定装置、形状测定装置、构造物制造系统、及构造物制造方法有效
| 申请号： | 201810367580.6 | 申请日： | 2013-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN108761778B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 北泽大辅;派崔克·布兰卡特 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康;尼康计量公众有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B13/24;G01B11/24;B29C37/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 成像光学系统(21)为物体面(P1)与像面(P2)相对于第1轴(25)朝向相互相反方向倾斜的成像光学系统，其中第1轴链接物体面(P1)的一点和与物体面的一点共轭的像面(P2)的一点，在相对于包含物体面的面与包含像面的面的交线而垂直的平面内，所述成像光学系统具备在平面内相对于第1轴而偏心的第1光学构件(51)。在歪斜的成像光学系统中，其可能抑制成像性能的降低。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 光学系统 测定 装置 形状 构造 制造 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测定装置，其特征在于，具有：成像光学系统，其形成测定对象的像；及摄影部，其具备相对于该成像光学系统的光轴倾斜地配置于该成像光学系统的像面的附近的透过构件；其中，该成像光学系统具备相对于该光轴而偏心的第1光学构件，其中，该透过构件是沿该像面配置且使借由该成像光学系统而聚集的光束通过的平面构件，其中，该第1光学构件具有绕第1对称轴旋转对称的表面，且其中，该第1对称轴在一平面中相对于该光轴是倾斜的，该平面包含该光轴，该平面垂直于包含物体面的面与包含该像面的面之间的交线，且该第1光学构件相对于该光轴朝向与该透过构件倾斜的方向相同的方向倾斜。
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