[发明专利]双通道平行摆镜式傅里叶变换红外光谱仪在审
申请号: | 201810367875.3 | 申请日: | 2018-04-23 |
公开(公告)号: | CN108519153A | 公开(公告)日: | 2018-09-11 |
发明(设计)人: | 才啟胜;王向前;刘怡轩;黄旻;吕群波;韩炜;路向宁 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电研究院 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01J3/28 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人: | 郑立明;郑哲 |
地址: | 100080 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种双通道平行摆镜式傅里叶变换红外光谱仪,其产生光程差的运动部件是一对平行镜,由于光线经过平行镜后的传播方向不变,因此在平行镜摆动的过程中并不会引起光线的偏折,可降低对运动部件的精度要求。另外,光线经过端面直角镜返回后产生一个垂直纸面(Z方向)的偏移量,使得入射光线和经过干涉仪后的出射光线偏离开,从而在干涉仪的分束器两端均可进行干涉信息的采集,具有双通道探测的特点。即本发明的突出优点是通过一对平行摆镜系统和端面直角反射镜,降低了对运动部件的精度要求,且可以实现双通道探测。 | ||
搜索关键词: | 双通道 运动部件 平行镜 摆镜 傅里叶变换红外光谱仪 平行 端面直角 精度要求 探测 出射光线 传播方向 垂直纸面 入射光线 反射镜 分束器 干涉仪 光程差 偏移量 干涉 摆动 偏折 采集 返回 | ||
【主权项】:
1.一种双通道平行摆镜式傅里叶变换红外光谱仪,其特征在于,包括:准直镜、分束器、第一、第二与第三平面反射镜、第一与第二直角反射镜、第一与第二成像镜,以及第一与第二探测器;其中,第二平面反射镜的上下两个面均为反射面,且上下两面平行,第一与第三平面反射镜均与第二平面反射镜平行,并且第一与第三平面反射镜关于第二平面反射镜对称,这三个平面反射镜固定在一起构成平行摆镜系统;平行摆镜系统能够绕Z方向的位于第二平面反射镜上的转轴A摆动;携带被测信息的光经过准直镜准直后成为平行光,分束器将其分为透射光和反射光;反射光与透射光经过平行摆镜系统对应的反射至第一与第二直角反射镜,并原方向返回到分束器;两路光在分束器汇合后形成相干光,两路光经过平行摆镜系统反射回的光线与入射光线在Z方向有一个横向偏移量,使得从分束器出射的干涉光与入射光线偏离开;通过分束器的上方的第一成像镜和第一探测器进行干涉光强度的探测;同时,由于入射光线与经过平行摆镜系统后的出射光线在Z方向偏移开,通过在分束器下方加入第二成像镜和第二探测器进行干涉光强的探测,即可实现双通道的同时探测;两路光随着平行摆镜系统的摆动而产生随时间变化的光程差,从而在每一探测器上采集到随光程差变化的目标干涉信息,记录目标的完整干涉信息后通过光谱复原从而复原出原始光谱信息。
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