[发明专利]半球式气体静压轴系及精密设备

摘要

本发明涉及精密机械技术领域，尤其涉及一种半球式气体静压轴系及精密设备。该半球式气体静压轴系包括主轴、轴承、电机和轴外套；主轴和轴外套通过轴承连接；轴承包括轴衬和轴瓦；轴外套、轴瓦、轴衬和主轴依次套接，且轴衬与主轴固定连接，轴瓦与轴外套固定连接；轴瓦采用多孔透气材料制成；轴外套设置有与轴瓦连通的气膜供气孔，以使气体经气膜供气孔进入轴瓦并在轴瓦与轴衬之间形成静压气体膜，使轴衬悬浮在轴瓦中；电机设置在轴外套的内部，且电机的转子套装在主轴上，电机的定子设置在转子与轴外套之间。该精密设备包括半球式气体静压轴系。本发明的目的在于提供半球式气体静压轴系及精密设备，提高主轴旋转的平稳性和精度。

主权项

1.一种半球式气体静压轴系，其特征在于，包括主轴、轴承、电机和轴外套；所述主轴和所述轴外套之间通过所述轴承连接；所述轴承包括轴衬和轴瓦；所述轴外套、所述轴瓦、所述轴衬和所述主轴依次套接，且所述轴衬与所述主轴固定连接，所述轴瓦与所述轴外套固定连接；所述轴衬呈球缺形或者球台形；所述轴瓦呈球环形；所述轴瓦采用多孔透气材料制成；所述轴外套设置有与所述轴瓦连通的气膜供气孔，以使气体经所述气膜供气孔进入所述轴瓦并在所述轴瓦与所述轴衬之间形成静压气体膜，以能够将所述轴衬和所述主轴悬浮起来；所述电机设置在所述轴外套的内部，且所述电机的转子套装在所述主轴上，所述电机的定子设置在所述电机的转子与所述轴外套之间。