[发明专利]用于监视装配式结构的健康状况的应力传感器有效
申请号: | 201810369108.6 | 申请日: | 2018-04-23 |
公开(公告)号: | CN108801503B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | E·圭德蒂;M·亚巴西加瓦蒂;D·卡尔塔比亚诺;G·贝尔塔格诺里 | 申请(专利权)人: | 意法半导体股份有限公司 |
主分类号: | G01L1/00 | 分类号: | G01L1/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华 |
地址: | 意大利阿格*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本公开涉及一种应力传感器,包括膜板;布置在膜板的顶部上的第一接合区域;布置在第一接合区域的顶部上的盖板,第一接合区域将膜板接合到盖板;跨越膜板延伸、嵌入接合层中的三维压阻元件;以及跨过膜板延伸、被接合层包围并与接合层分离的平面压阻元件。 | ||
搜索关键词: | 用于 监视 装配式 结构 健康状况 应力 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种应力传感器,包括:膜板;叠覆在所述膜板上的第一接合层;叠覆在所述第一接合层上的盖板,所述第一接合层将所述膜板接合到所述盖板;三维压阻元件,跨越所述膜板延伸并嵌入所述第一接合层中;以及跨越所述膜板延伸的平面压阻元件,所述平面压阻元件被所述第一接合层横向包围并与所述第一接合层分离。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于意法半导体股份有限公司,未经意法半导体股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810369108.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。