[发明专利]一种磁控微波源在审
| 申请号： | 201810369590.3 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108511307A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 凌必利;李军;吴斌;赵鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01J23/20 | 分类号： | H01J23/20 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种磁控微波源不需要高真空腔体，不用灯丝阴极，主体由放电腔室，放电介质，RF电源，RF电源天线，磁体回路和能量输出器组成，放电腔室内充放电介质，通过设置磁体回路令磁力线经过放电腔室，能量输出器与放电腔室连接。RF电源天线通过激励放电介质产生等离子体放电。在等离子体放电过程中产生大量的电子，这些运动电子受到磁场的作用辐射出微波并经过能量输出器输出。通过改变磁体回路磁场强度改变微波频率。通过改变等离子体放电强度可以改变微波输出的功率。该磁控微波源不需要高真空腔体，不用灯丝阴极因此提高了环境适应性和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体放电 能量输出器 放电腔室 微波源 磁控 高真空腔体 灯丝阴极 放电介质 磁场 天线 磁力线 充放电介质 环境适应性 使用寿命 微波频率 微波输出 运动电子 放电腔 微波 室内 输出 辐射 | ||
【主权项】：
1.一种磁控微波源主体由放电腔室，放电介质，RF电源，RF电源天线，磁体回路和能量输出器组成，其特征是：放电腔室内充放电介质，设置用于激励放电腔室内放电介质的RF电源天线，并且RF电源天线与RF电源连接，通过设置磁体回路令磁力线经过放电腔室，能量输出器与放电腔室连接。
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