[发明专利]亚微米量级的高精度探测系统及位置角度探测方法在审
| 申请号： | 201810371395.4 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108955626A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 申景诗;呼夏苗;曹长庆;吴晓鹏;冯喆珺;曾晓东;王婷;陈堃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G01C1/00 | 分类号： | G01C1/00;G01C15/00 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华;朱红星 |
| 地址： | 710071 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种亚微米量级的高精度探测系统和位置角度探测方法，主要解决了现有位置和角度探测系统测量精度低、系统体积大、价格昂贵的问题，其包括：光路单元(1)、探测单元(2)和信息处理单元(3)。其中，探测单元(2)使用了两个位置敏感探测芯片同时独立测量位置和角度信息。外部的模拟光源准直通过光路单元到达探测单元，探测单元将获得的电压信息传送到信息处理单元，信息处理单元将计算得到的位置和角度值实时显示在上位机的程序页面上。本发明简化了系统结构，减小了系统体积，提高了检测过程的灵敏性和检测结果的可靠性，适用于对亚微量级的目标探测和干扰检测。 | ||
| 搜索关键词： | 探测单元 信息处理单元 角度探测 高精度探测系统 亚微米量级 光路单元 测量位置 电压信息 干扰检测 检测结果 角度信息 模拟光源 目标探测 实时显示 探测芯片 系统测量 系统结构 灵敏性 上位机 减小 准直 敏感 检测 外部 | ||
【主权项】：
1.一种亚微米量级的探测系统，包括：光路单元(1)、探测单元(2)和信息处理单元(3)，其特征在于：所述的光路单元(1)，包括透镜(11)、分光棱镜(12)和3个直角棱镜(13，14，15)；所述的探测单元(2)，包括位置探测芯片PSDB(21)和角度探测芯片PSDA(22)；所述分光棱镜(12)和位置探测芯片PSDB(21)位于透镜(11)的焦平面上，即位于透镜后175mm处，角度探测芯片PSDA(22)位于透镜(11)之后的83.5mm位置处；激光经过透镜(11)打在分光棱镜(12)上分成两束，一束反射到位置探测芯片PSDB(21)，另一束透过分光棱镜(12)到达第一直角棱镜(13)后，再依次全反射到第二直角棱镜(14)和第三直角棱镜(15)，到达角度探测芯片PSDA(22)。
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