[发明专利]一种宽域式线性氧传感器及制造方法有效
| 申请号： | 201810372977.4 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108414602B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 尧中华;曾咏平;胡国付;张喜成 | 申请（专利权）人： | 武汉泽科宁电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407;G01N27/41 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 马辉 |
| 地址： | 430056 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种传感器，尤其是涉及一种宽域式线性氧传感器及制造方法。该性氧传感器，包括依次设置的外电极保护层、氧泵电池层、参考电压感应层和基板层，氧泵电池层和参考电压感应层之间设有尾气气腔，尾气气腔内设有环形内外扩散障层。环形内外扩散障层包括第一扩散障层和第二扩散障层，通过梯度扩散障技术，第一扩散障层过滤尾气中杂质及对电极有毒颗粒，第二扩散障层对尾气进行限流控制，提高传感器的使用寿命，且达到了精确控流的效果；采用多孔陶瓷技术，通过调控组成控制孔隙率含量和分布，提高了传感器的精确度和灵敏度；采用多孔陶瓷支撑技术，通过多孔架构制备参考空气腔体，显著提高瓷片的力学强度，有利于提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽域式 线性 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种宽域式线性氧传感器，包括依次设置的外电极保护层(1)、氧泵电池层(2)、参考电压感应层(9)和基板层(12)，所述氧泵电池层(2)上表面设有上氧泵电极层(3)，下表面设有下氧泵电极层(4)；所述参考电压感应层(9)上表面设有上感应电极层(8)，下表面设有下感应电极层(10)；其特征在于：所述氧泵电池层(2)和参考电压感应层(9)之间设有尾气气腔(7)，所述尾气气腔(7)内设有环形内外扩散障层，所述环形内外扩散障层包括用于过滤尾气中杂质及对电极有毒颗粒的第一扩散障层(5)和对尾气进行限流控制的第二扩散障层(6)。
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