[发明专利]一种薄膜太阳能电池制作装置及衬底转运装置

摘要

本发明公开了一种薄膜太阳能电池制作装置及衬底转运装置，其中衬底转运装置包括真空度分级调节装置和衬底翻转装置。真空度分级调节装置对沉积有吸收层的衬底进行逐步降真空操作，对衬底自蒸镀腔室向大气的过渡起到了缓冲作用，且在真空度分级调节装置内通过传送辊进行连续传送，不需要对衬底进行收卷操作；衬底自真空度分级调节装置进入大气后，通过衬底翻转装置进行传输进入水浴装置，衬底翻转装置对衬底进行连续运输，不需要对衬底进行放卷操作。本方案提供的装置覆盖有吸收层的衬底自蒸镀腔室进入水浴装置时需要进行收卷和放卷操作，吸收层不会因为收卷和放卷产生裂痕或者褶皱，从而保证了吸收层与缓冲层的连接强度。

主权项

1.一种衬底转运装置，其特征在于，包括：真空度分级调节装置和衬底翻转装置；所述真空度分级调节装置包括真空腔室(1)和设置于所述真空腔室(1)内的多对呈线性布置的传送辊(2)，位于所述真空腔室(1)的进口的所述传送辊(2)与所述真空腔室(1)的内壁构成真空腔，相邻所述传送辊(2)之间形成所述真空腔，相邻所述真空腔的真空度递减，每个所述真空腔均设置有抽真空装置；所述衬底翻转装置位于所述真空度分级调节装置的出口，所述衬底翻转装置包括用于将吸收层向下翻转的第一翻转辊(3)和用于将所述吸收层向上翻转的第二翻转辊(4)。