[发明专利]一体构型的全柔性并联三维精密位移台

摘要

本发明公开一种一体构型的全柔性并联三维精密位移台，由外层固定框架、中层嵌套移台框架与内层嵌套移台框架。其中，外层固定框架与中层嵌套移台框架间通过周向铰链柔性连接，向中层嵌套移台框架施力后可使中层嵌套移台框架内安装的内层嵌套移台框架上的负载平台沿x轴方向移动。同时设计中层与内层嵌套移台框架由板状支架组合而成，可视为由柔性铰链连接的对称式并联四连杆机构，以及四连杆机构；通过对四连杆机构施加力，实现负载平台沿y轴方向的移动；通过对对称式并联四连杆机构施力，实现负载平台沿z轴方向的移动。本发明结构紧凑，可实现50nm的定位精度，且采用全柔性铰链连接，可避免机械装配引入的定位误差。

主权项

1.一体构型的全柔性并联三维精密位移台，其特征在于：包括外层固定框架、中层嵌套移台框架与内层嵌套移台框架；其中，外层固定框架与中层嵌套移台框架的外围框架间通过周向铰链柔性连接；通过沿x轴向外围框架施力，实现中层嵌套移台框架内安装的内层嵌套移台框架上的负载平台沿x轴方向移动；中层嵌套移台框架还具有由板状支架组合而成的驱动架，视每块板状支架为一根连杆，则驱动架具有一套由柔性铰链连接的对称式并联四连杆机构；通过对对称式并联四连杆机构施加y轴方向力，实现负载平台沿z轴方向的移动。内层嵌套移台框架同样由板状支架组合，同时还包括负载平台；视每块板状支架为一根连杆，则内层嵌套移台框架具有一套由柔性铰链连接的四连杆机构；通过对四连杆机构施加y轴方向力，实现负载平台沿y轴方向的移动。