[发明专利]一种晶体生长控制装置及控制方法在审
申请号: | 201810378496.4 | 申请日: | 2018-04-25 |
公开(公告)号: | CN108624952A | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 杨建春 | 申请(专利权)人: | 上海翌波光电科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/28 | 分类号: | C30B15/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201801 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种晶体生长控制装置及控制方法,包括提拉装置、坩埚、控制器、旋转电机和升降电机;坩埚用于盛放原料液体,提拉装置位于坩埚的上方;提拉装置用于夹取籽晶;旋转电机和升降电机分别与提拉装置连接,控制器分别与旋转电机和升降电机连接;控制器通过升降电机使提拉装置上升或下降,以使提拉装置伸入或脱离坩埚;控制器通过旋转电机使提拉装置旋转;控制器还可通过提拉装置对晶体进行称重。本发明的优点和有益效果在于:实现了精准控制晶体的生长过程的重量,保证了晶体在等径生长过程中,晶体的等径部分在其轴线方向上的各个横截面的直径均为一致,提高了晶体产品的品质;无需人工干预,提高了晶体生长控制工作的自动化水平。 | ||
搜索关键词: | 提拉装置 控制器 升降电机 旋转电机 坩埚 晶体生长 控制装置 晶体的 自动化水平 等径生长 晶体产品 精准控制 人工干预 生长过程 原料液体 轴线方向 称重 等径 夹取 伸入 盛放 籽晶 脱离 保证 | ||
【主权项】:
1.一种晶体生长控制装置,其特征在于,包括提拉装置、坩埚、控制器、旋转电机和升降电机;所述坩埚用于盛放原料液体,所述提拉装置位于所述坩埚的上方;所述提拉装置用于夹取籽晶,所述提拉装置将籽晶伸入坩埚内并通过原料液体制造晶体;所述旋转电机和升降电机分别与所述提拉装置连接,所述控制器分别与所述旋转电机和升降电机连接;所述控制器通过所述升降电机使所述提拉装置上升或下降,以使所述提拉装置伸入或脱离所述坩埚;所述控制器通过所述旋转电机使所述提拉装置旋转,以使籽晶在原料液体内制造晶体;所述控制器还可通过所述提拉装置对晶体进行称重。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海翌波光电科技股份有限公司,未经上海翌波光电科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810378496.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种单晶硅坩埚
- 下一篇:一种超薄钙钛矿单晶材料的制备方法