[发明专利]一种晶体生长控制装置及控制方法在审

专利信息
申请号: 201810378496.4 申请日: 2018-04-25
公开(公告)号: CN108624952A 公开(公告)日: 2018-10-09
发明(设计)人: 杨建春 申请(专利权)人: 上海翌波光电科技股份有限公司
主分类号: C30B15/28 分类号: C30B15/28
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201801 上海市嘉定*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种晶体生长控制装置及控制方法,包括提拉装置、坩埚、控制器、旋转电机和升降电机;坩埚用于盛放原料液体,提拉装置位于坩埚的上方;提拉装置用于夹取籽晶;旋转电机和升降电机分别与提拉装置连接,控制器分别与旋转电机和升降电机连接;控制器通过升降电机使提拉装置上升或下降,以使提拉装置伸入或脱离坩埚;控制器通过旋转电机使提拉装置旋转;控制器还可通过提拉装置对晶体进行称重。本发明的优点和有益效果在于:实现了精准控制晶体的生长过程的重量,保证了晶体在等径生长过程中,晶体的等径部分在其轴线方向上的各个横截面的直径均为一致,提高了晶体产品的品质;无需人工干预,提高了晶体生长控制工作的自动化水平。
搜索关键词: 提拉装置 控制器 升降电机 旋转电机 坩埚 晶体生长 控制装置 晶体的 自动化水平 等径生长 晶体产品 精准控制 人工干预 生长过程 原料液体 轴线方向 称重 等径 夹取 伸入 盛放 籽晶 脱离 保证
【主权项】:
1.一种晶体生长控制装置,其特征在于,包括提拉装置、坩埚、控制器、旋转电机和升降电机;所述坩埚用于盛放原料液体,所述提拉装置位于所述坩埚的上方;所述提拉装置用于夹取籽晶,所述提拉装置将籽晶伸入坩埚内并通过原料液体制造晶体;所述旋转电机和升降电机分别与所述提拉装置连接,所述控制器分别与所述旋转电机和升降电机连接;所述控制器通过所述升降电机使所述提拉装置上升或下降,以使所述提拉装置伸入或脱离所述坩埚;所述控制器通过所述旋转电机使所述提拉装置旋转,以使籽晶在原料液体内制造晶体;所述控制器还可通过所述提拉装置对晶体进行称重。
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