[发明专利]一种蒸镀用掩膜板在审
| 申请号： | 201810381805.3 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN108559945A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 罗程远 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀用掩膜板。能够增大该隔垫物与蒸镀用掩膜板之间的接触面积，增强隔垫物与该蒸镀用掩膜板之间的结合力，防止隔垫物在使用过程中发生剥落。本发明实施例提供一种蒸镀用掩膜板，包括：板状本体，该板状本体上开设有若干个通孔，该板状本体在蒸镀时朝向待蒸镀基板的一侧连接有隔垫物；该板状本体在蒸镀时朝向待蒸镀基板的一侧设置有凹槽，该隔垫物的一部分嵌设于该凹槽内，另一部分凸出于该凹槽的外部。本发明实施例用于制作蒸镀用掩膜板。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 隔垫物 掩膜板 板状本体 蒸镀基板 结合力 剥落 嵌设 通孔 掩膜 外部 制作 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀用掩膜板，包括：板状本体，该板状本体上开设有若干个通孔，该板状本体在蒸镀时朝向待蒸镀基板的一侧连接有隔垫物；其特征在于，所述板状本体在蒸镀时朝向待蒸镀基板的一侧设置有凹槽，所述隔垫物的一部分嵌设于所述凹槽内，另一部分凸出于所述凹槽的外部。
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