[发明专利]一种小型化紫外激光器变倍扩束装置在审
| 申请号： | 201810382541.3 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN110398841A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 新其铭;顾新华;赵璞 | 申请（专利权）人： | 天津凯普林激光科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝 |
| 地址： | 300300 天津市东丽区自贸试验区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明适用于激光加工技术，提供了一种小型化紫外激光变倍扩束系统，包括沿着激光传输方向依次设置的变倍组、补偿组和固定组；所述的变倍组包括第一透镜，所述的补偿组包括第二透镜，所述的固定组包括第三透镜，第一透镜为弯月型负透镜或平凹型负透镜，第二透镜为双凹型负透镜，第三透镜为双凸型或平凸型正透镜，且三个透镜位于同一个光轴上，本发明对各透镜进行上述设置，对波长为355nm的激光实现2‑10倍扩束，输出光束接近衍射极限，提高了聚焦光斑的能量密度，并且该扩束系统适合在高功率激光加工设备使用，极大地提高了焦点处的能量密度，进而提高激光加工精度和加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 变倍组 补偿组 固定组 变倍扩束系统 激光传输方向 激光加工技术 平凹型负透镜 平凸型正透镜 双凹型负透镜 弯月型负透镜 高功率激光 紫外激光器 激光加工 加工设备 加工效率 聚焦光斑 扩束系统 扩束装置 输出光束 衍射极限 依次设置 紫外激光 焦点处 双凸型 变倍 波长 光轴 扩束 激光 | ||
【主权项】：
1.一种小型化大倍率的紫外激光器变倍扩束系统，其特征在于，包括沿着激光传输方向依次设置的变倍组、补偿组和固定组；所述的变倍组包括第一透镜，所述的补偿组包括第二透镜，所述的固定组包括第三透镜，所述第一透镜为弯月型负透镜或平凹型负透镜，第二透镜为双凹型负透镜，第三透镜为双凸型或平凸型正透镜，且三个透镜位于同一个光轴上，所述的变倍组和补偿组的组合与固定组构成伽利略望远系统的结构所述的紫外激光扩束系统对波长为355nm，光斑直径为100‑1000um，发散角小于2mrad的激光光束的扩束倍率为2‑10倍，输出光斑可达到衍射极限。
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