[发明专利]一种真空阴极电弧弧源装置及沉积涂层的方法有效
| 申请号： | 201810384095.X | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN108588650B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 李海庆;陈道勇;徐方涛;闫旭波;张绪虎;贾中华 | 申请（专利权）人： | 航天材料及工艺研究所;中国运载火箭技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/04;C23C14/16 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 张丽娜 |
| 地址： | 100076 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空阴极电弧弧源装置及在火箭发动机喷管内表面沉积涂层的方法，特别是涉及一种真空阴极电弧弧源装置及在轨姿控发动机喷管内表面沉积涂层的方法，可应用于航天飞行器的双组元液体火箭轨/姿控发动机。本发明实现利用真空阴极电弧离子沉积方法在轨姿控发动机喷管内表面沉积防护涂层，可以根据需要沉积不同涂层，比如纯金属涂层(铱涂层、铼涂层、铌涂层和钼涂层)，合金涂层(铂‑铑涂层、Mo‑W涂层、MCrAlYSiB涂层)，提高了轨姿控发动机的工作性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 阴极 电弧 装置 沉积 涂层 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空阴极电弧弧源装置，其特征在于：该装置包括阴极靶材(1)、非磁不锈钢辅助阳极(2)、非接触式高压脉冲引弧(3)、冷却水管(4)、芯轴(5)和电磁线圈(6)；所述的电磁线圈(6)缠绕在芯轴(5)的外面，芯轴(5)的一端连接阴极，芯轴(5)的另一端与阴极靶材(1)底端的圆柱段通过螺纹连接，冷却水管(4)穿过芯轴(5)后延伸至阴极靶材(1)顶端的圆锥段；非磁不锈钢辅助阳极(2)套在阴极靶材(1)的圆柱段的外表面；非接触式高压脉冲引弧(3)通过非磁不锈钢辅助阳极(2)侧面的螺纹通孔与在非磁不锈钢辅助阳极(2)固定连接。
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