[发明专利]溅射靶材封孔方法、装置及电子设备在审
| 申请号： | 201810384417.0 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN108359947A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;钱百峰 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K20/10 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 陈剑 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及溅射靶材加工技术领域，具体而言，涉及一种溅射靶材封孔方法、装置及电子设备。该方法包括：获得拍摄到的包含了待检测溅射靶材的图像，判断包含了待检测溅射靶材的图像中的第一靶材件与第二靶材件的连接处是否存在针孔，若存在针孔，控制超声波电火花堆焊机对针孔进行焊接封孔，获得拍摄到的封孔之后的待检测溅射靶材的图像，判断封孔之后的待检测溅射靶材的图像中的第一靶材件与第二靶材件的连接处是否还存在残余针孔，若不存在残余针孔，判定封孔完成。该溅射靶材封孔方法能够提高溅射靶材的密封性。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射靶材 针孔 封孔 靶材 图像 装置及电子设备 检测 加工技术领域 电火花堆焊 焊接封孔 超声波 密封性 拍摄 判定 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶材封孔方法，其特征在于，所述方法包括：获得拍摄到的包含了待检测溅射靶材的图像；其中，所述待检测溅射靶材包括第一靶材件和第二靶材件，所述第一靶材件与所述第二靶材件通过扩散焊接的方式固定连接；判断所述包含了待检测溅射靶材的图像中的所述第一靶材件与所述第二靶材件的连接处是否存在针孔，若存在针孔，控制超声波电火花堆焊机对所述针孔进行焊接封孔；获得拍摄到的封孔之后的待检测溅射靶材的图像，判断所述封孔之后的待检测溅射靶材的图像中的第一靶材件与第二靶材件的连接处是否还存在残余针孔，若不存在残余针孔，判定封孔完成。
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