[发明专利]基于固支梁的d31的压电式微波功率传感器

摘要

本发明是一种基于固支梁的d31的压电式微波功率传感器，传感器包括高阻硅衬底，在高阻硅衬底上设有共面波导传输线和固支梁，共面波导传输线是包括中心信号线和地线，地线设置在中心信号线的两侧，固支梁两端利用桥墩固定在信中心信号线和地线之间，固支梁正下方嵌入一质量块，固支梁的上方有四块压电材料层，四块压电材料层与固支梁之间填充着介质层，当微波功率在共面波导传输时，固支梁受到静电力下拉，压电材料层随之产生形变，根据压电效应，压电材料层上电荷的分布发生变化，产生与微波功率一一对应的电压，通过检测电压进行微波功率的检测。本发明的微波功率传感器结构新颖、易于集成，且灵敏度较高。

主权项

1.一种基于固支梁的d31的压电式微波功率传感器，其特征在于：所述传感器包括高阻硅衬底，在所述高阻硅衬底上设有共面波导传输线和固支梁（3），所述共面波导传输线是包括中心信号线（1）和地线（2），所述地线（2）设置在所述中心信号线（1）的两侧，所述固支梁（3）两端利用桥墩固定在所述信中心信号线（1）和地线（2）之间，所述固支梁（3）正下方嵌入一质量块（4），所述固支梁（3）的上方有四块压电材料层，四块所述压电材料层与所述固支梁（3）之间填充着介质层（5），当微波功率在共面波导传输时，固支梁（3）受到静电力下拉，压电材料层随之产生形变，根据压电效应，压电材料层上电荷的分布发生变化，产生与微波功率一一对应的电压，通过检测电压进行微波功率的检测。