[发明专利]一种区域表面等离子体增强超薄复合吸收膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种区域表面等离子体增强超薄复合吸收膜的制备方法，由上而下依次为Ag+SiO2纳米层、SiO2纳米层、Ag纳米层和Si纳米层，依次采用共聚焦孪生靶（Si平面靶）、Ag靶、SiO2靶依次采用中频电源、直流电源和射频电源溅射依次镀覆形成Si纳米层、Ag纳米层和SiO2纳米层，随后利用Ag靶和SiO2靶共溅射在SiO2纳米层表面形成Ag+SiO2纳米层。本发明通过可控镀膜条件，制备出一种致密度高、纯度高，附着牢固的纳米复合吸收膜，镀膜速率高，工艺重复性好，此外，本发明采用共聚焦孪生靶避免了靶中毒的影响，且采用多类型电源激发，节省能量。

主权项

1.一种区域表面等离子体增强超薄复合吸收膜的制备方法，其特征在于，其具体制备步骤如下：步骤1：首先对基体管材进行抛光直至镀膜要求，随后经超声波清洗、烘干，放入真空镀膜室内的载板上，其中，载板沿真空镀膜室内底部的轨道左右运动；步骤2：对真空镀膜室进行抽真空，当真空镀膜室内达到一定的真空度时，开启粒子轰击，对不锈钢基体管材进行清洗；步骤3：真空镀膜室内充氩气，且保持真空镀膜室内一定的真空度，同时对不锈钢基体管材进行加热至一定温度；步骤4：真空镀膜室内保持步骤3中的真空度和温度，不锈钢基体管材通过载板从左向右运动，同时开启中频双靶电源，关闭其他电源，启动共聚焦孪生靶对不锈钢基体管材镀Si，形成Si纳米层，所述Si纳米层厚度通过控制共聚焦孪生靶的溅射功率、不锈钢基体管材运动速率、镀膜时间和真空度来控制；步骤5：真空镀膜室内保持步骤3中的真空度和温度，不锈钢基体管材从右向左运动，同时开启直流电源，关闭其他电源，启动Ag靶在步骤4中镀覆的Si纳米层表面镀Ag，形成Ag纳米层，所述Ag纳米层厚度通过控制Ag的溅射功率、不锈钢基体管材运动速率、镀膜时间和真空度来控制；步骤6：真空镀膜室内保持步骤3中的真空度和温度，不锈钢基体管材从左向右运动，同时开启射频电源，关闭其他电源，启动SiO2靶在步骤5中镀覆的Ag纳米层表面镀SiO2，形成SiO2纳米层，所述SiO2纳米层的厚度通过控制SiO2靶的溅射功率、不锈钢基体管材运动速率、镀膜时间和真空度来控制；步骤7：真空镀膜室内保持步骤3中的真空度和温度，不锈钢基体管材从右向左运动，同时开启直流电源和射频电源，关闭其他电源，分别启动Ag靶和SiO2靶在步骤5中镀覆的Si纳米层表面同时共溅射Ag和SiO2，形成Ag+SiO2纳米层，所述Ag+SiO2纳米层的厚度通过控制Ag靶和SiO2靶的溅射功率、不锈钢基体管材运动速率、镀膜时间和真空度来控制随即镀膜工艺结束。