[发明专利]一种薄型太阳电池刚性-柔性衬底有机键合转移工艺方法在审
| 申请号： | 201810386259.2 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN108615700A | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 范襄;于振海;雷刚;付坤;沈静曼;石梦奇;杨洪东;姜德鹏;王训春 | 申请（专利权）人： | 上海空间电源研究所 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 贾慧琴 |
| 地址： | 200245 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种薄型太阳电池刚性‑柔性衬底有机键合转移工艺方法，其包含：步骤1，刚性转移：将太阳电池晶圆与涂覆有可逆粘接层的临时支撑衬底叠合，通过热压绑定，完成太阳电池晶圆的刚性转移；步骤2，制作薄型太阳电池；步骤3，柔性转移：在刚性转移后，待薄型太阳电池制作完成后，通过光解或热解可逆粘接层，使得可逆粘接层的粘结强度急剧下降至临时支撑衬底易于剥离，剥离临时支撑衬底，完成薄型太阳电池的柔性转移。本发明的工艺方法制程简单、对支撑衬底材质无限制、与现有太阳电池器件工艺兼容性好、可靠性高、成本低等，刚性转移厚度控制达到晶圆级水平，柔性转移为无损剥离，非常适合太阳电池及其它半导体减薄、薄型或柔性器件研制和生产。 | ||
| 搜索关键词： | 薄型 衬底 临时支撑 粘接层 可逆 有机键合 剥离 晶圆 太阳电池器件 工艺兼容性 厚度控制 柔性器件 晶圆级 绑定 叠合 光解 减薄 热解 热压 涂覆 粘结 制程 无损 制作 半导体 支撑 生产 | ||
【主权项】：
1.一种薄型太阳电池刚性‑柔性衬底有机键合转移工艺方法，其特征在于，该方法包含以下步骤：步骤1，刚性转移：将太阳电池晶圆与涂覆有可逆粘接层的临时支撑衬底叠合，通过热压绑定，完成太阳电池晶圆的刚性转移；步骤2，制作薄型太阳电池；步骤3，柔性转移：待薄型太阳电池制作完成后，通过光解或热解可逆粘接层，使得可逆粘接层的粘结强度急剧下降至临时支撑衬底易于剥离，剥离临时支撑衬底，完成薄型太阳电池的柔性转移。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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