[发明专利]一种应力平衡薄型砷化镓太阳电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种应力平衡薄型砷化镓太阳电池的制备方法，其特征在于，薄型砷化镓太阳电池包含应力匹配柔性支撑衬底、砷化镓太阳电池材料、金属电极、减反射膜，其制备方法包括：键合金属层制备、外延键合、临时键合、器件制作，所述应力匹配柔性支撑衬底为线膨胀系数低于11×10‑6/℃的金属薄膜或耐高温聚合物薄膜，与砷化镓太阳电池材料热力学性能匹配良好。所制备的砷化镓太阳电池翘曲小、平整度好、可焊性高、易于太阳电池组件的研制，空间应用可靠性高。

主权项

1.一种应力平衡薄型砷化镓太阳电池的制备方法，其特征在于，薄型砷化镓太阳电池包含应力匹配柔性支撑衬底、砷化镓太阳电池材料、金属电极和减反射膜；所述制备方法包括以下步骤：步骤1：键合金属层制备：分别在砷化镓太阳电池材料背光面和应力匹配柔性支撑衬底上制作键合金属层；步骤2：外延键合：将砷化镓太阳电池材料和应力匹配柔性支撑衬底的键合金属层叠合在一起并进行键合；步骤3：临时键合：将外延键合后的应力匹配柔性支撑衬底与临时支撑衬底叠合在一起并进行键合；步骤4：器件制作：在砷化镓太阳电池材料受光面制作金属电极和减反射膜，剥离临时支撑衬底后制得应力平衡薄型砷化镓太阳电池。