[发明专利]一种钯纳米颗粒薄膜的制备工艺及其氢气传感器

摘要

本发明公开了一种钯纳米颗粒薄膜的制备工艺及其氢气传感器，包括如下步骤：首先准备六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）、福尔马林、石英玻璃基底、高纯氮和碳支持膜；在源1中放入六氟乙酰丙酮钯作为前驱体，源2中放入福尔马林作为前驱体，在真空环境下将前驱体脉冲交替通入反应室；六氟乙酰丙酮钯作为前驱体与石英玻璃基底表面发生化学吸附和化学反应，惰性气体将多余的前驱体和副产物清除；福尔马林作为前驱体与已经结合在基底的六氟乙酰丙酮钯前驱体发生化学反应，最后在基底上沉积形成薄膜。本发明解决了现有光纤氢气传感器中的钯钇合金薄膜容易被空气中氧气毒化，无法有效避免薄膜起泡开裂等引起零点漂移的问题。

主权项

1.一种钯纳米颗粒薄膜的制备工艺，其特征在于：包括如下步骤：（1）首先准备六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）、福尔马林、石英玻璃基底、高纯氮和碳支持膜；（2）在源1中放入六氟乙酰丙酮钯作为前驱体，源2中放入福尔马林作为前驱体，在真空环境下将前驱体脉冲交替通入反应室；（3）六氟乙酰丙酮钯作为前驱体与石英玻璃基底表面发生化学吸附和化学反应，惰性气体将多余的前驱体和副产物清除；（4）福尔马林作为前驱体与已经结合在基底的六氟乙酰丙酮钯前驱体发生化学反应，再次用惰性气体将多余的前驱体和副产物清除出反应腔，最后在基底上沉积形成薄膜。