[发明专利]溅射靶材毛刺去除方法、装置及电子设备在审
| 申请号： | 201810388691.5 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN108564584A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;钱百峰 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 梁斌 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及溅射靶材加工技术领域，具体而言，一种溅射靶材毛刺去除方法、装置及电子设备。该方法包括：获得包含了待检测溅射靶材的图片，将包含了待检测溅射靶材的图片中的待检测溅射靶材与预设标准图片中的样本溅射靶材进行特征匹配，获得匹配率，判断匹配率是否低于预设值，若低于预设值，控制清洗设备对包含了待检测溅射靶材的图片中的各个螺纹孔进行清洗，获得包含了清洗之后的待检测溅射靶材的图片，将包含了清洗之后的待检测溅射靶材的图片中的待检测溅射靶材与预设标准图片中的样本溅射靶材进行特征匹配，获得二次匹配率，判断二次匹配率是否低于预设值，若不低于预设值，判定毛刺去除完毕。该方法能提高溅射靶材的成品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射靶材 检测 预设 匹配 毛刺去除 装置及电子设备 清洗 图片 特征匹配 预设标准 样本 加工技术领域 清洗设备 螺纹孔 判定 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶材毛刺去除方法，其特征在于，所述方法包括：获得高精度相机拍摄的包含了待检测溅射靶材的图片，其中，所述待检测溅射靶材包括多个螺纹孔；将所述包含了待检测溅射靶材的图片中的待检测溅射靶材与预设标准图片中的样本溅射靶材进行特征匹配，获得匹配率；判断所述匹配率是否低于预设值，若低于所述预设值，判定所述包含了待检测溅射靶材的图片中的待检测溅射靶材存在毛刺，控制清洗设备对所述包含了待检测溅射靶材的图片中的各个螺纹孔进行清洗，以实现对所述毛刺的去除；获得所述高精度相机拍摄的包含了清洗之后的待检测溅射靶材的图片，将所述包含了清洗之后的待检测溅射靶材的图片中的待检测溅射靶材与所述预设标准图片中的样本溅射靶材进行特征匹配，获得二次匹配率，判断所述二次匹配率是否低于所述预设值，若不低于所述预设值，判定毛刺去除完毕。
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