[发明专利]组合式环境压力和声学MEMS传感器有效
| 申请号： | 201810388728.4 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN108827449B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | N·D·伊万斯;J·S·艾伽什;G·B·恩德特 | 申请（专利权）人： | 苹果公司 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06;G01H11/08;G01L9/06;G01L9/12 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 边海梅 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明题为：“组合式环境压力和声学MEMS传感器”。本发明公开了一种微机电系统(MEMS)环境压力和声学传感器，该MEMS环境压力和声学传感器包括：具有壳体壁的壳体，该壳体限定内部腔室和至该内部腔室的声学输入开口；移动结构，该移动结构定位在内部腔室内并且以声学方式耦接到声学输入开口。该移动结构具有能够响应于声压输入而移动的声学感测部分和能够响应于环境压力输入而移动的环境压力感测部分。该传感器还包括电路，该电路电耦接到移动结构并且是可操作的以基于移动结构的移动来确定声学输出和环境压力输出。 | ||
| 搜索关键词： | 组合式 环境 压力 声学 mems 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(MEMS)环境压力和声学传感器，包括：具有壳体壁的壳体，所述壳体限定内部腔室和至所述内部腔室的声学输入开口；移动结构，所述移动结构定位在所述内部腔室内并且以声学方式耦接到所述声学输入开口，所述移动结构具有能够响应于声压输入而移动的声学感测部分和能够响应于环境压力输入而移动的环境压力感测部分；和电路，所述电路电耦接到所述移动结构，所述电路是可操作的以基于所述移动结构的移动来确定声学输出和环境压力输出。
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