[发明专利]一种钙钛矿薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201810389233.3 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN108559949A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 经有国;孟月霞 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/28;C23C14/58;C30B29/22;C30B28/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开一种钙钛矿薄膜的制备方法，属于半导体电子薄膜技术领域；本发明经过La0.7Ca0.3MnO3:Ag0.2多晶陶瓷靶材的制备、薄膜材料的制备、薄膜材料后退火处理制得钙钛矿薄膜；本发明方法制备的钙钛矿薄膜电阻率值低，金属‑绝缘体转变温度（Tp）更接近室温，电阻温度系数（TCR）更大，能够更广泛的应用于近室温磁电子器件、超巨磁电阻测辐射热仪、红外探测器等器件。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 钙钛矿薄膜 薄膜材料 绝缘体 薄膜技术领域 电阻温度系数 半导体电子 磁电子器件 红外探测器 多晶陶瓷 辐射热仪 巨磁电阻 电阻率 后退火 靶材 金属 应用 | ||
【主权项】：
1.一种钙钛矿薄膜的制备方法，其特征在于，具体包括以下步骤：（1）按化学计量比，称取La(NO3)3、Ca(NO3)2、Mn(NO3)2溶解于甲醇中，按柠檬酸与金属离子的摩尔比为3:1~4:1的比例，将柠檬酸加入上述混合物中，60~80℃下加热搅拌，同时滴加分散剂丙三醇，混匀后制得La0.7Ca0.3MnO3溶胶；（2）将La0.7Ca0.3MnO3溶胶烘干，研磨，然后进行预烧得到La0.7Ca0.3MnO3多晶陶瓷粉体；（3）按AgO2与La0.7Ca0.3MnO3的摩尔比为1:1~1:5 的比例，将AgO2加入到La0.7Ca0.3MnO3多晶陶瓷粉体中，然后在10~12MPa下压制成块材，然后烧结得到La0.7Ca0.3MnO3:Ag0.2多晶陶瓷靶材；（4）对La0.7Ca0.3MnO3:Ag0.2多晶陶瓷靶材进行打磨，打磨完成后用酒精擦拭，并用擦镜纸擦拭直到表面光洁为止； （5）采用SrLaAlO4单晶作为衬底材料，将衬底材料用丙酮浸泡，然后置于超声条件下清除衬底表面的污垢，清洗完成后将丙酮倒出后加入无水乙醇冲洗，取出后擦拭干净待用；（6）采用紫外脉冲激光沉积技术将La0.7Ca0.3MnO3:Ag0.2多晶陶瓷靶材沉积在衬底表面生长为薄膜材料；（7）将制得的薄膜材料置于管式炉中，调节通入管式炉腔内的氧气浓度为8.0×104~1.0×105Pa，在1350~1450℃温度下进行后退火10~14h，退火结束后制得钙钛矿薄膜。
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