[发明专利]一种制备高分辨率线条图案的新方法在审
| 申请号： | 201810389448.5 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN108717248A | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 孙洪文;殷敏琪;王海滨 | 申请（专利权）人： | 河海大学常州校区 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y20/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 213022 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备高分辨率线条图案的新方法。包括以下步骤：(1)准备具有线条图案的弹性印章、及旋涂压印胶的压印衬底,所述线条图案的线条宽度和两相邻线条间的间隔尺寸一样；(2)通过沿所述图案的线条长度方向施加拉伸外力使得所述弹性印章上的图案的线条宽度变细，并固定所述弹性印章；(3)将所述弹性印章与所述旋涂压印胶的压印衬底在紫外压印机中接触，通过紫外光对压印胶进行固化；(4)将所述弹性印章与压印胶固化后的压印衬底分离，并进行后续图案转移。本发明的新方法特点是通过沿弹性印章上图案的线条长度方向施加拉伸外力使得弹性印章上图案的线条宽度变细，得到高分辨率线条图案，工艺简单、制备高分辨率线条图案成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性印章 线条图案 高分辨率 压印胶 线条 压印 图案 制备 变细 衬底 拉伸 旋涂 固化 施加 衬底分离 图案转移 相邻线条 紫外压印 紫外光 | ||
【主权项】：
1.一种制备高分辨率线条图案的新方法，其特征在于，所述方法的工艺步骤如下：(1)准备具有线条图案的弹性印章、及旋涂压印胶的压印衬底，所述线条图案的线条宽度和两相邻线条间的间隔尺寸一样；(2)通过沿所述图案的线条长度方向施加拉伸外力使得所述弹性印章上的图案的线条宽度变细，并固定所述弹性印章；(3)将所述弹性印章与所述旋涂压印胶的压印衬底在紫外压印机中接触，通过紫外光对压印胶进行固化；(4)将所述弹性印章与压印胶固化后的压印衬底分离，并进行后续图案转移。
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