[发明专利]提高靶材利用率的磁性靶材

摘要

本发明涉及一种磁性靶材，所述磁性靶材包含背板、靶材单元及磁性单元。靶材单元设置在背板的一面，靶材单元包含内侧靶材、内环靶材以及外环靶材，内环靶材为上窄下宽的梯形，而内环靶材的两侧分别具有第一导磁面及第二导磁面，内侧靶材与第一导磁面相邻设置并与内环靶材之间形成倾斜的内侧导磁通道，外环靶材与第二导磁面相邻设置并与内环靶材之间形成倾斜的外侧导磁通道，磁性单元远离靶材单元设置在背板的另一面。因此，通过倾斜的内侧导磁通道与外侧导磁通道避免磁力线被弱化以及磁场干扰问题，达到有效引导电浆集中溅镀内环靶材的效果。

主权项

1.一种磁性靶材，其特征在于，所述磁性靶材包括：背板，所述背板为非磁性材料；靶材单元，所述靶材单元设置在所述背板的一面，所述靶材单元包括内侧靶材、环设所述内侧靶材的内环靶材，以及远离所述内侧靶材环设所述内环靶材一侧的外环靶材，所述内环靶材为磁性材料制成，所述内环靶材包括接触所述背板的基底面、远离所述基底面的轰击面、第一导磁面及第二导磁面，所述第一导磁面及所述第二导磁面相对设置且分别连接所述基底面与所述轰击面，所述基底面连接所述第一导磁面与所述第二导磁面的长度大于所述轰击面连接所述第一导磁面与所述第二导磁面的长度，所述内侧靶材与所述第一导磁面相邻设置并与所述内环靶材之间形成内侧导磁通道，所述外环靶材远离所述内侧靶材与所述第二导磁面相邻设置并与所述内环靶材之间形成外侧导磁通道；磁性单元，所述磁性单元远离所述靶材单元设置在所述背板的另一面，所述磁性单元包括第一磁铁及第二磁铁，所述第一磁铁对应设置在所述内侧靶材的位置，所述第二磁铁对应设置在所述外环靶材的位置。