[发明专利]一种柔性三维接触力传感器在审
申请号: | 201810391370.0 | 申请日: | 2018-04-27 |
公开(公告)号: | CN108613761A | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 蒋书文;术洋溢;肖瑶;于江涛;孙雷;张万里 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22;G01L5/16 |
代理公司: | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人: | 吴姗霖 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种柔性三维接触力传感器,属于传感器技术领域。包括依次设置的下封装层、4n个阵列排列的力传感单元、上封装层和力加载层,所述力传感单元包括力敏薄膜、位于力敏薄膜上表面的上电极层和位于力敏薄膜下表面的下电极层三层结构,n≥1且为正整数;其中,每个力传感单元的上电极和下电极分别通过引线引出连接外部采集系统,通过检测每个力传感单元中力敏薄膜的电阻变化,即可得到传感器的受力情况。本发明提供的柔性三维接触力传感器与传统的传感器相比,在满足柔性、小尺寸的前提下,在剪切力方向的测量范围更宽,测量精度高,可应用于机器人指尖、医疗末端力检测、人机交互等智能机电力检测设备及其他需要检测多维力的设备中。 | ||
搜索关键词: | 传感器 传感单元 薄膜 三维接触力 传感器技术领域 测量精度高 采集系统 电力检测 电阻变化 人机交互 三层结构 上封装层 下电极层 依次设置 阵列排列 指尖 传统的 电极层 封装层 剪切力 力加载 力检测 上表面 下表面 下电极 正整数 智能机 电极 检测 多维 受力 机器人 测量 外部 医疗 应用 | ||
【主权项】:
1.一种柔性三维接触力传感器,包括依次设置的下封装层、4n个阵列排列的力传感单元、上封装层和力加载层,所述力传感单元包括力敏薄膜、位于力敏薄膜上表面的上电极层和位于力敏薄膜下表面的下电极层,n≥1且为正整数;其中,每个力传感单元的上电极和下电极分别通过引线引出连接外部采集系统,通过检测每个力传感单元中力敏薄膜的电阻变化,即可得到传感器的受力情况。
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