[发明专利]致动传感模块在审
| 申请号： | 201810391967.5 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN110412210A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;陈世昌;黄启峰;韩永隆;郭俊毅 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本案提供一种致动传感模块，包含：第一基板，设有控制电路；第二基板，具有气体入口及气体出口，第二基板与第一基板叠合后形成气体通道，气体入口、气体通道及气体出口相互连通以形成一气流回路；致动装置，设置于第二基板的气体出口，并电性连接控制电路；以及传感器，设置于气流回路中与气体入口错位设置并与致动装置间隔设置，传感器电性连接控制电路；透过驱动致动装置，将外界的气体经由气体入口导入气体通道，并使气体在流经传感器之后由气体出口排出，以供传感器对循环的气体进行监测。 | ||
| 搜索关键词： | 气体出口 气体入口 传感器 第二基板 气体通道 致动装置 电性连接控制 传感模块 第一基板 气流回路 致动 电路 错位设置 间隔设置 控制电路 叠合 排出 连通 驱动 监测 | ||
【主权项】：
1.一种致动传感模块，其特征在于，包含：一第一基板，设有至少一控制电路；一第二基板，具有一气体入口及一气体出口，该第二基板与该第一基板叠合后形成一气体通道，该气体入口、该气体通道及该气体出口相互连通以形成一气流回路；至少一致动装置，设置于该第二基板的该气体出口，并电性连接该至少一控制电路；以及至少一传感器，设置于该气流回路中与该气体入口错位设置且与该至少一致动装置间隔设置，该至少一传感器电性连接该至少一控制电路；其中，透过驱动该致动装置，将外界的一气体经由该气体入口导入该气体通道，并使该气体在流经该传感器之后由该气体出口排出，以供该传感器对循环的该气体进行监测。
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