[发明专利]一种尖晶石型铁氧体薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201810392411.8 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN110408915B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 杨洋;余快;汪国平;丁军;肖文 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种尖晶石型铁氧体薄膜的制备方法，包括：将原料和衬底混合后进行升温处理再进行冷却，得到尖晶石型铁氧体薄膜；所述原料包括金属源、表面活性剂和溶剂。与现有技术相比，本发明采用化学方法制备得到尖晶石型铁氧体薄膜，本发明提供的方法制备得到的尖晶石型铁氧体薄膜的晶体结构质量高、无杂相，可制备得到厚度在几纳米至几百纳米的尖晶石型铁氧体薄膜，制备得到的尖晶石型铁氧体薄膜具有优异的磁性能，其饱和磁化强度能够达到1.2T。本发明还提供了一种由上述技术方案所述的方法制备得到的尖晶石型铁氧体薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尖晶石 铁氧体 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种尖晶石型铁氧体薄膜的制备方法，包括：将原料和衬底混合后进行升温处理再进行冷却，得到尖晶石型铁氧体薄膜；所述原料包括金属源、表面活性剂和溶剂；所述金属源包括铁元素。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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