[发明专利]一种薄膜太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种薄膜太阳能电池的制备方法，本发明技术方案可以制备具有特定背电极结构的薄膜太阳能电池，在Mo材料的第二背电极层下方设置相对于Mo材料具有较小电阻率、较大反射率以及较小吸收率的第一背电极层，这样，可以采用较薄的Mo作为第二背电极层，在不增加背电极结构厚度的同时，提高对光的反射率，降低对光的吸收，降低背电极结构的阻抗，从而大大提高光电转换效率。而且通过设置所述支撑层可以提高背电极结构与所述基底的结合力，避免发生翘曲问题。

主权项

1.一种薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：提供一基底；在所述基底的表面形成背电极结构，所述背电极结构包括依次设置的支撑层、第一背电极层以及第二背电极层；所述支撑层设置在所述基底的表面，用于增加所述背电极结构与所述基底的结合力；所述第一背电极层设置在所述支撑层背离所述基底一侧的表面，其电阻率小于Mo的电阻率，其对光的反射率大于Mo对光的反射率，其对光的吸收率小于Mo对光的吸收率；所述第二背电极层设置在所述第一背电极层背离所述支撑层一侧的表面，所述第二背电极层为Mo；在所述背电极结构背离所述基底一侧的表面形成光电转换功能层；在所述光电转换功能层背离所述背电极结构一侧的表面形成顶电极结构。