[发明专利]一种金属氧化物透明导电薄膜的制备方法及其产品和用途

摘要

本发明涉及一种金属氧化物透明导电薄膜的制备方法及其产品和用途，所述制备方法包括如下步骤：(1)向反应腔中通入第一金属前驱体，清洗，通入O2化学吸附，通入惰性气体辅助等离子体起辉，原位氧化，清洗；再通入还原气，等离子体起辉，部分还原，清洗；(2)重复(1)N1次得第一金属氧化物膜；(3)通入第二金属前驱体，清洗，通入O2化学吸附，通入惰性气体辅助等离子体起辉，原位氧化，清洗；再通入还原气，等离子体起辉，部分还原，清洗；(4)重复(3)N2次得第二金属氧化物膜；(5)重复(1)～(4)M次，其中，N1:N2＝(14～21):(1～4)，M＝10～40。实现了低温下制备低电阻率的金属氧化物导电膜。

主权项

1.一种金属氧化物透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)向反应腔中通入第一金属前驱体，清洗，通入O2进行化学吸附，然后通入惰性气体辅助等离子体起辉，发生原位氧化，清洗；再通入还原气进行化学吸附，等离子体起辉，发生部分还原，清洗；(2)将步骤(1)重复N1次后，得到第一金属氧化物膜；(3)通入第二金属前驱体，清洗，通入O2进行化学吸附，然后通入惰性气体辅助等离子体起辉，发生原位氧化，清洗；再通入还原气进行化学吸附，等离子体起辉，发生还原，清洗；(4)将步骤(3)重复N2次后，得到第二金属氧化物膜；(5)将步骤(1)～(4)重复M次，得到金属氧化物透明导电薄膜；其中，N1:N2＝(14～21):(1～4)，M＝10～40。