[发明专利]一种偏振成像系统的标定方法有效
| 申请号： | 201810394621.0 | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN108871579B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 李艳秋;李建慧 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01J4/00 | 分类号： | G01J4/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 李爱英;郭德忠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种偏振成像系统的标定方法，能够完成对成像物镜和准直镜的标定，消除成像物镜和准直镜引入的误差，提高偏振成像系统的测量精度。本发明通过多步本征值法可以完成耦合准直镜的标定，提高成像物镜偏振像差的测量精度。该方法可以实现在线测量，不需要利用其他的测量装置对器件进行标定，也不需要改变已有的光路，从而引入其他误差，该标定方法能够完成对系统中各个器件的标定，该操作简单，测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 成像 系统 标定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种偏振成像系统的标定方法，所述偏振成像系统包括激光器、PSG、成像物镜、准直镜、PSA及探测器，其特征在于，将参考样品分别置于PSG与成像物镜之间、准直镜与PSA之间以及成像物镜与准直镜之间，并利用本征值法对参考样品左右两边的器件或器件组合进行标定，得到PSG的Mueller矩阵G、PSA的Mueller矩阵A、PSG和成像物镜组合的Mueller矩阵M3以及准直镜和PSA组合的Mueller矩阵M4；根据下式得到成像物镜的Mueller矩阵ML1和准直镜的Mueller矩阵ML2：ML1＝M3·G‑1 (17)ML2＝A‑1·M4 (18)完成对成像物镜和准直镜的标定。
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