[发明专利]自动对焦显微镜系统

摘要

本发明实施例提供一种自动对焦显微镜系统，该自动对焦显微镜系统包括镜筒透镜、物镜、掩膜版以及处理器。本发明实施例将掩膜版的图案投射到被测物上，继而利用掩膜版的图案进行自动对焦，能够对透明的被测物进行精确对焦，并且利用掩膜版的图案进行对焦能够克服孔洞或缺陷带来的对焦精确度不高的缺陷。本发明实施例利用处理器确定所采集的掩膜版的图案的对比度，继而利用对比度确定物镜与被测物之间的距离，从而实现了自动对焦显微镜系统对被测物的自动对焦，提高了对焦效率。

主权项

1.一种自动对焦显微镜系统，所述自动对焦显微镜系统用于观测被测物，所述自动对焦显微镜系统包括镜筒透镜和物镜，其特征在于，所述自动对焦显微镜系统还包括：掩膜版、第一光源、第一分光元件、第二分光元件、第一反射镜、第一电荷耦合器件以及处理器；所述第一光源发射第一光束，并利用所述第一光束照射所述掩膜版，得到包含掩膜版的图案的光束，所述包含掩膜版的图案的光束射入所述第一分光元件；所述第一分光元件对所述包含掩膜版的图案的光束进行分光处理，得到第一发射子光束，所述第一分光元件将其中的一个第一发射子光束射入所述镜筒透镜，所述其中的一个第一发射子光束通过所述镜筒透镜和所述物镜射到所述被测物上；所述其中的一个第一发射子光束在所述被测物上进行反射，得到第一反射光束，所述第一反射光束依次经过所述物镜和所述镜筒透镜射入所述第一分光元件；所述第一分光元件将所述第一反射光束进行分光处理，得到第一反射子光束，并将其中的一个第一反射子光束射入所述第二分光元件；所述第二分光元件将接收的光束进行分光处理，得到第一目标子光束和第二目标子光束，所述第二分光元件将所述第一目标子光束射到所述第一电荷耦合器件的第一预定区域，所述第二分光元件将所述第二目标子光束射入所述第一反射镜，所述第一反射镜将所述第二目标子光束射到所述第一电荷耦合器件的第二预定区域；所述处理器计算所述第一预定区域内的图像的对比度，得到第一对比度，计算所述第二预定区域内的图像的对比度，得到第二对比度，根据所述第一对比度和第二对比度确定所述自动对焦显微镜系统的离焦方向和离焦量，并根据所述离焦方向和离焦量确定所述物镜位置的调整量。