[发明专利]共享加速电源阵列式电子枪电子束流控制装置及方法

摘要

本发明涉及共享加速电源阵列式电子枪电子束流控制装置及方法，其装置包括中央控制器、控制组件供电单元、电子束流调节单元、光纤、信号变换单元、电子束流取样单元、控制组件单元、加速电源单元、加速电压调节单元及辅助电源单元；相对现有技术，本发明通过在高压端对n支电子枪的电子束流解耦采样，实现了阵列式电子枪共享加速电源的工程创新；共享加速电源可使设备更紧凑，降低成本，且可靠性更高。

主权项

1.共享加速电源阵列式电子枪电子束流控制装置，其特征在于：包括中央控制器(1)、控制组件供电单元(2)、电子束流调节单元(3)、光纤(4)、信号变换单元(5)、电子束流取样单元(6)、控制组件单元(7)、加速电源单元(8)、加速电压调节单元(9)及辅助电源电源(10)组成n路电子束流控制回路；所述电子束流取样单元(6)，包括n个取样电阻R1、R2、…、Ri、…、Rn，i#取样电阻Ri的第一端与加速电源单元(8)的负端连接，i#取样电阻Ri的第二端与控制组件单元(7)中i#控制组件(7i)的整流桥ZL7i输出正极连接，i#取样电阻的第二端还与信号变换单元(5)中i#整形放大和电光信号转换电路(5i)的输入端连接，i#取样电阻Ri的两端输出与通过i#电子枪的电子束流IBi成正比的电压信号Ubi，其中i＝1,2,…,n，且n＞1；中央控制器(1)输出i#电子束流设定信号给i#电子束流调节电路(3i)，i#整形放大和电光信号转换电路(5i)将i#电子束流取样信号U_bi进行整形放大和电光信号转换，生成i#电子束流取样信号U_bi的光信号由i#光纤(4i)转输给i#电子束流调节电路(3i)，i#电子束流调节电路(3i)将i#光纤(4i)中的光信号经光电转换成电信号U′_bi作为i#电子束流反馈信号，其中U′_bi与U_bi为线性关系，i#电子束流调节电路(3i)将i#电子束流设定信号和i#电子束流反馈信号U′_bi进行比较运算得到i#电子束流偏差信号ΔU_bi，其中i#电子束流调节电路(3i)将i#电子束流偏差信号ΔU_bi按一定规律进行调节运算输出i#控制组件电源控制信号i#电子束流调节电路(3i)将i#控制组件电源控制信号送至i#控制组件电源调节电路(2i)，i#控制组件电源调节电路(2i)根据i#控制组件电源控制信号自动调节其输出交流电U_Bi的幅值，i#控制组件电源调节电路(2i)将其输出交流电U_Bi送至i#控制组件(7i)，i#控制组件(7i)将i#控制组件电源调节电路(2i)输出交流电U_Bi变压、整流及滤波输出直流电，若i#辅助电源提供i#电子枪阴极加热功率，i#控制组件(7i)输出电压U_Gi给i#电子枪栅偏极，调节i#电子枪电子束流的大小，若i#辅助电源提供i#电子枪栅偏电压，i#控制组件(7i)输出电功率P_Gi加热i#电子枪阴极，调节i#电子枪电子束流的大小，其中i＝1,2,…,n。