[发明专利]一种多晶硅铸锭用熔融石英坩埚及其制备方法有效
申请号: | 201810397707.9 | 申请日: | 2018-04-28 |
公开(公告)号: | CN108374196B | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 穆荣升;龙立华;付阔;许丽丽;吴允辉;郭大为 | 申请(专利权)人: | 烟台同立高科新材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 谈杰 |
地址: | 264000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种多晶硅铸锭用熔融石英坩埚及其制备方法,包含熔融石英和晶化抑制剂,所述晶化抑制剂为氮化硅、氮化硼、碳化硼、氧化钇和氧化钕粉末中的一种或两种及多种的复配,所述晶化抑制剂的含量为熔融石英重量的0.5~6%。本发明的方法制备得到的石英坩埚在承载多晶硅铸锭的过程中,尤其是在金属硅熔化之前,可有效抑制熔融石英析出方石英的行为,进而大幅提升了石英坩埚的使用安全性。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 熔融 石英 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅铸锭用熔融石英坩埚,其特征在于,包含熔融石英和晶化抑制剂,所述晶化抑制剂为氮化硅、氮化硼、碳化硼、氧化钇和氧化钕粉末中的一种或两种及多种的复配,所述晶化抑制剂的用量为熔融石英重量的0.5~6%。
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