[发明专利]一种器件性能判断方法与装置有效

专利信息
申请号: 201810399157.4 申请日: 2018-04-28
公开(公告)号: CN108845237B 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 王巧;陈志涛;刘宁炀;张康;王君君;曾巧玉;林丹;郭秀珍 申请(专利权)人: 广东省半导体产业技术研究院
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 邓超
地址: 510000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明实施例提出一种器件性能判断方法与装置,涉及器件测试技术领域。通过在低温状态下对器件进电致发光测量,从而获取该器件在低温状态下的不同温度的第一内量子效率随工作电流的变化曲线;同时在低温状态下对器件进行变温光致发光测量,并获取不同温度的第二内量子效率,依据处于相同温度时第一内量子效率与第二内量子效率的比值计算器件的注入效率,并生成不同温度下的注入效率变化曲线;依据注入效率变化曲线与预设定的性能判断规则判断器件的性能。本发明提供的器件性能判断方法与装置具有能够实现在低温状态下对器件性能的检测且更加准确的优点。
搜索关键词: 一种 器件 性能 判断 方法 装置
【主权项】:
1.一种器件性能判断方法,其特征在于,所述器件性能判断方法包括:在低温状态下对所述器件进行电致发光测量,并获取一器件在低温状态下的不同温度的第一内量子效率随工作电流的变化曲线;对所述变化曲线进行数据整合,并得到不同工作电流下的第一内量子效率随温度的变化曲线;在低温状态下对所述器件进行变温光致发光测量,并获取不同温度的第二内量子效率;依据处于相同温度时所述第一内量子效率与所述第二内量子效率的比值计算所述器件的注入效率,并生成不同温度下的注入效率变化曲线;依据所述注入效率变化曲线与预设定的性能判断规则判断所述器件的性能。
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