[发明专利]一种基于PSD的多光束同步二维位置检测方法有效
申请号: | 201810399665.2 | 申请日: | 2018-04-28 |
公开(公告)号: | CN110411337B | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | 王恩德;李学鹏;侯绪奎;朱亚龙;彭良玉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 王倩 |
地址: | 110016 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于PSD的多光束同步二维位置检测方法,包括以下步骤:多个靶标光源同时发出的调制光束在PSD探测器靶面上形成多个光斑;PSD探测器将多个光斑转换为多个频率叠加的混合电流信号输出,经信号调理后转换成数字信号;采用双外差异步解调算法将多个频率叠加的数字信号解调还原为多路调制光束的幅值,并通过归一化同步得出多个光斑的二维位置。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 psd 光束 同步 二维 位置 检测 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于PSD的多光束同步二维位置检测方法,其特征在于包括以下步骤:多个靶标光源同时发出的调制光束在PSD探测器靶面上形成多个光斑;PSD探测器将多个光斑转换为多个频率叠加的混合电流信号输出,经信号调理后转换成数字信号;采用双外差异步解调算法将多个频率叠加的数字信号解调还原为多路调制光束的幅值,并通过归一化得出多个光斑的二维位置。
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