[发明专利]一种高世代钼靶材的生产方法

摘要

本发明公开了一种高世代钼靶材的生产方法，该生产方法包括：1、将两种粒径范围不同的钼粉在真空条件下混合，过筛后得到混合粉料；2、将混合粉料进行等静压处理；3、烧结处理；4、热轧处理；5；真空退火；6、水切割、铣削加工、磨床加工。通过该方法得到的钼靶材的长度可达3500mm以上，厚度≤30mm，宽度≤600mm，平面度小于0.08mm，钼含量≥99.97％，该生产方法的生产效率高，所得高世代钼靶材的致密度≥99.5％，钼靶材内部组织无气孔、裂纹、分层、夹杂等缺陷，其表面粗糙度＜0.6um，平均晶粒≤80um，晶粒均匀，可作为G10.5代线平面显示器生产的高纯钼靶；本发明提供的高世代钼靶材的生产方法，制备方法简单，生产成本较低，成品率高，有利于工业化生产。

主权项

1.一种高世代钼靶材的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、将两种钼粉：A粉和B粉，在真空条件下混合，过筛后得到混合粉料；其中，平均粒度为2.8～3.2μm的钼粉称为A粉；平均粒度为4.0～4.6μm的钼粉称为B粉；A粉和B粉的质量百分比为(20％～60％)：(40％～80％)；步骤二、将步骤一所得混合粉料装入等静压模具内，进行等静压处理，得到压坯；步骤三、将步骤二所得压坯进行烧结处理，得到钼板坯；步骤四、在氢气气氛下，对步骤三所得钼板坯进行至少3道次轧制，轧制的总压下率为75％～85％，每道次轧制的加热温度为1200～1250℃，每道次轧制的压下率为20％～35％，将轧制后的板材进行校平，得到钼板材；步骤五、将步骤四所得钼板材进行真空退火处理，得到钼靶材半成品；步骤六、将步骤五所得钼靶材半成品进行水切割、铣削加工、磨床加工，得到所述高世代钼靶材。