[发明专利]立式烘烤氧化系统有效
| 申请号： | 201810401983.8 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN108396388B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 罗爱斌;周铁军;宾启雄;陈章水;易明辉;李勇;吴远高;刘留 | 申请（专利权）人： | 广东长信精密设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种立式烘烤氧化系统，其包括一炉体、包覆于炉体外的一保温层、固定于炉体内的一坩埚架总成、放置于坩埚架总成上固定的若干坩埚、置于坩埚内用于加热的一石英管加热器、用于封闭炉体并夹持固定石英管加热器的一冷却密封接头以及设于保温层外的一外壳。本立式烘烤氧化系统，相较于现有技术，能降低能耗、成膜均匀、爆管概率降低，且机械自动化程度提高，也能降低在转移过程中擦伤坩埚内氧化膜的风险，整体结构布局合理，非常适合于半导体材料的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 烘烤 氧化 系统 | ||
【主权项】：
1.一种立式烘烤氧化系统，用于处理坩埚，其特征在于：其包括一炉体、包覆于炉体外的一保温层、固定于炉体内的一坩埚架总成、用于加热的一石英管加热器、用于封闭炉体并夹持固定石英管加热器的一冷却密封接头以及设于保温层外的一外壳。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东长信精密设备有限公司，未经广东长信精密设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810401983.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
