[发明专利]用于OLED显示面板蒸镀的掩膜板有效
申请号: | 201810402092.4 | 申请日: | 2018-04-28 |
公开(公告)号: | CN108517489B | 公开(公告)日: | 2023-05-12 |
发明(设计)人: | 高昊 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H10K71/16;H10K59/10 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 黄德海 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于OLED显示面板蒸镀的掩膜板,掩膜板包括:主板体、挡板以及支撑板,所述主板体具有安装孔;所述挡板至少部分设于所述安装孔内,所述挡板与所述主板体共同限定出位于两者之间的开口部;所述支撑板分别与所述主板体以及所述挡板连接以覆盖所述开口部,所述支撑板具有多个可供蒸镀物质穿过的通过孔,所述开口部的蒸镀投影区至少部分位于所述开口部的正投影外。根据本发明实施例的用于OLED显示面板蒸镀的掩膜板,通过增大掩膜板的开口部的投影,以达到全蒸镀效果,同时设置在开口部的支撑板能够起到支撑作用,挡板能够对基板特定区域进行掩盖,避免蒸镀材料在基板上的沉积,提高了异形器件的OLED显示面板的整体薄膜均匀性和气密性。 | ||
搜索关键词: | 用于 oled 显示 面板 掩膜板 | ||
【主权项】:
1.一种用于OLED显示面板蒸镀的掩膜板,其特征在于,包括:主板体,所述主板体具有安装孔;挡板,所述挡板至少部分设于所述安装孔内,所述挡板与所述主板体共同限定出位于两者之间的开口部;以及支撑板,所述支撑板分别与所述主板体以及所述挡板连接以覆盖所述开口部,所述支撑板具有多个可供蒸镀物质穿过的通过孔,所述开口部的蒸镀投影区至少部分位于所述开口部的正投影外。
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